小型手动探针台HMP-400/600

用于研究和开发的小型手动探针,支持从HMP-400/600 到4英寸或6英寸的晶圆测量。
通过选择适当的选项,可以测量fA水平的微电流测量和fF水平的微容量测量。
此外,通过将热卡盘从室温安装到+ 300°C,可以支持高温测试。

keysite-LOGO2Hysol Corporation是Keysight Technologies,Inc。的认证解决方案合作伙伴。
分类:

描述

应用

  • 微小信号IV测量(fA水平)
  • 各种CV测量(准静态CV,HF-CV)
  • 4端子电阻测量

扩展应用

  • 从室温到+ 200°C或+ 300°C的温度特性测试
  • 手套箱安装
  • 探针卡兼容
  • 射频测量(~40 GHz)
  • 超快速IV测量
  • 大功率器件测量(100A脉冲,±3kV三轴,±10kV同轴)
  • 光学器件(LED,LD,VCSEL,PD等)的发光和接收特性评估应用

系统配置示例

HMP-400-2
使用Agilent B1500A半导体器件分析仪进行
系统升级(微信号IV·CV测量)
HMP-400-3
设置
探针用于微信号IV·CV测量×4×1背栅×
HMP-400-4
使用Agilent B2900A源/测量单元进行
系统升级(低成本IV测量)
HMP-400-5
手套箱安装规格(带CCD显微镜)

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