高低温半自动探针台HSP-200SC/300SC

用于下一代半导体器件的半自动探针系统,具有低噪声和低泄漏的特点。
探头和卡盘安装在一个完整的EMI屏蔽环境中,带有屏蔽室结构,温度控制范围为-65°C至+ 300°C(特殊选项+ 400°C),极端区域内的超细信号IV·支持面内自动测量,如CV测量,1 / f噪声测量,S参数采集,RTN(随机电报噪声)测量和高速IV测量。
此外,还可以支持可选的高电流,高压功率器件应用。
※我们还提供HSP-150SC,一种6英寸晶圆兼容型号。

keysite-LOGO2Hysol Corporation是Keysight Technologies,Inc。的认证解决方案合作伙伴。
分类:

描述

应用

  • 温度特性测试范围为+ 25°C至+ 300°C / + 400°C或-65°C至+ 300°C
  • 微小信号IV测量(fA水平)
  • 各种CV测量(准静态CV,HF-CV,RF-CV)[Sub pF级]
  • 1 / f噪声评估
  • RTN(随机电报噪声)评估
  • 高频噪声评估(~800 MHz)
  • RF测量(~67 GHz)/ S参数采集
  • 超快速IV测量

扩展应用

  • 探针卡兼容(多站点WLR兼容)
  • 主动隔振表,通过图像处理模式识别进行超高精度探测(精度±1微米或更小)
  • 光学器件(LED,LD,VCSEL,PD等)的发光和接收特性评估应用
  • 用于平板显示装置的公共栅极端子触点
  • 大功率器件测量(400A脉冲,±3kV三轴,±10kV同轴)※8英寸型号
  • 晶圆级可靠性测试(EM,TDDB,HCI,NBTI,BT等)

特点

EMI / RFI屏蔽室

图1S
通过压板多次进给
图2S
吸盘拉出机构
  • > 30 dB EMI / RFI屏蔽性能
  • 由于腔室体积小,它支持高速CDA吹扫和N2吹扫
  • 通过N2吹扫(+ 300°C / + 400°C规格)将腔室中的残余氧浓度闭环控制在100 ppm或更低
  • 腔室部件自动强制风冷机构(+ 300°C / + 400°C规格)
  • 最大安装定位器数量:8
  • 通过卡盘拉出机制更换安全的晶圆

超高精度4轴平台

图3
XYZθ轴4轴平台组件
独特设计的闭环,
超高精度4轴(XYZ-θ)平台堆叠在花岗岩底板上,可实现50um□或更小的最小PAD稳定接触。

舞台表演
XY轴定位精度 <±5微米
XY轴重复性 <±2 um
XY轴定位分辨率 0.1微米
Z轴重复性 <±1 um
Z轴定位分辨率 0.1微米
θ轴定位分辨率 0.00002°

探针卡兼容

  • 4.5英寸宽探针卡兼容(标准)
  • 探针卡设置支持完整的EMI / RFI屏蔽,阴影和保持腔室气氛。
  • 使用低热膨胀材料和卡夹强制风冷系统可实现稳定的高温长期连续测试。
  • 平面性(并行性),附加卡θ调整机制。
  • 通过持卡人向上倾斜机制更换安全卡。
  • 还提供标准尺寸以外的定制兼容探针卡。
HSP200_300SC-7
探针卡适配器
HSP200_300SC-8
探针卡+ 300°C
HSP200_300SC-9 HSP200_300SC-10
探针卡支架倾斜机构

软件

  • 多功能半自动探测软件,具有出色的可操作性。
  • 操作系统与Windows 8兼容。(适用于Windows 7)
  • 软件GUI或操纵杆控制器也可用作手动探测器。
  • 通过从更高级别的测量仪器接收BIN信息,可以应对晶片平面内BIN映射显示。
  • 它具有在高温和低温测试下的晶圆热膨胀校正功能。
  • 半自动探测器可以通过主机仪器或PC的GP-IB命令进行控制。
  • 还可以提供数据库创建和参数提取软件以分析由每个测量仪器获取的原始测量数据。(可选)
  • 该软件是专有的,可以定制。
HSP200_300SC-11S
手动操作屏幕
HSP200_300SC-12S
晶圆地图设置屏幕
HSP200_300SC-13S
BIN映射(可选)

阵容

【300mm晶圆兼容型号】

模型 支持的应用
HSP-300SC 微小信号IV,CV,WLR(EM,TDDB,HCI,NBTI)等
HSP-300SC-UL 超低噪声规格
超精细信号IV,fF电平CV,RF-CV,1 / f噪声,RTN,高速IV,RF / mm等

【200mm晶圆兼容型号】

模型 支持的应用
HSP-200SC 微小信号IV,CV,WLR(EM,TDDB,HCI,NBTI)等
HSP-200SC-UL 超低噪声规格
超精细信号IV,fF电平CV,RF-CV,1 / f噪声,RTN,高速IV,RF / mm等
HSP-200SC-HP 大功率器件测量400A脉冲,3kV(三轴)/ 10kV(同轴)

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